隨著各種半導(dǎo)體激光和飛秒、光纖激光等高功率激光的普及，

激光加工機(jī)不僅用于材料的切割和焊接，還用于各種精密加工。

隨著光束質(zhì)量的不斷提高，在無(wú)掩模光刻等微加工領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越多。

為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的激光加工，需要注意以下幾點(diǎn)。

通常需要選擇能保證激光功率穩(wěn)定的可變衰減器、影響聚光性能的激光擴(kuò)展鏡、能保證安全運(yùn)行的高功率快門、能補(bǔ)償聚光到衍射極限時(shí)焦點(diǎn)深度過(guò)小的自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)、直線性好的XY平臺(tái)。

此外，為了提高生產(chǎn)效率，還需要與CAD兼容性好、操作方便的軟件。

還必須建立一套完整的系統(tǒng)，以滿足使用目的。

示意圖